半導体製造装置用語辞典 第３版

日刊工業新聞社
日本半導体製造装置協会　

• 価格: 5,019円（本体4,563円＋税）
• 発行年月: 1994年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526036132

内容情報

[BOOKデータベースより]

半導体デバイス製造に関する用語辞典。７つの工程順に分け、その中をさらに分類順に構成する。各項目内は用語・読み方・意味・英訳を表形式で掲載する。巻末の資料編には、引用文献一覧表、半導体製造装置構成表などの図解、国際単位系計量単位がある。日本語索引・英語索引を付す。１９８７年初版刊行のものの第３版にあたる。

第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語