- 薄膜物性入門
-
Ｐｈｙｓｉｃｓ ｏｆ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ．２ｎｄ ｅｄ．
- 価格
- 6,600円（本体6,000円＋税）
- 発行年月
- 1994年06月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784753650316
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[BOOKデータベースより]
第１章 緒言
第２章 薄膜の作製法
第３章 薄膜の膜厚および蒸着速度の測定方法
第４章 薄膜の形成機構
第５章 薄膜の分析
第６章 薄膜の性質
第７章 薄膜の応用