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[BOOKデータベースより]
真空技術の基礎から応用までポイントをわかりやすく解説。新版化にあたって、コンピュータ利用の成果や宇宙利用などの真空技術の新たな分野を付加し、さらに今後のＳＩ単位の本格的導入に対応できる内容としました。
第１章 基礎の考え方
第２章 真空ポンプの原理と実際
第３章 装置の排気
第４章 真空用の部品と材料
第５章 真空装置のもれともれ探し
第６章 真空計の原理と取扱い方
第７章 真空下の圧力測定法
第８章 残留ガスの分析
第９章 超高真空の技術
第１０章 真空用語と換算表