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価格:2,640円(本体2,400円+税)
【2012年01月発売】
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[BOOKデータベースより]
光励起プロセスの概論
光励起プロセスの基礎
表面反応・気相反応の基礎過程
光励起プロセスによる膜形成の基礎過程
反応の診断・計測
光励起プロセスを用いた新しい製膜プロセス
光励起エッチング反応とその応用
光励起プロセスのデパイスへの応用
光励起プロセスの将来展望