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[BOOKデータベースより]
ＵＬＳＩの開発は４年間にわたるわが国の「超ＬＳＩプロジェクト」に端を発している。本書はこのプロジェクトに参加した著者が、その後さらに進展してきたデバイス・プロセス・評価技術、今後の展望などを解説したものである。
第１章 超ＬＳＩの歴史
第２章 デバイス技術
第３章 微細加工技術
第４章 プロセス技術
第５章 試験・評価技術
第６章 今後の動向