デバイスプロセス

電子・情報工学講座　１２

培風館
河東田隆　

• 価格: 4,510円（本体4,100円＋税）
• 発行年月: 1993年01月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784563033422

内容情報

[BOOKデータベースより]

半導体集積回路技術の進展に伴い、大学においてもその基礎教育が重要となっている。本書は、半導体集積回路と光デバイスの製作プロセス技術を中心に、その基礎を分かりやすく解説した教科書である。

１　主な半導体デハイスの製作プロセス
２　バルク結晶の成長
３　エピタキシャル成長技術
４　ウエハの加工と表面処理
５　絶縁膜の形成
６　不純物拡散とイオン注入
７　微細パターンの形成
８　電極と配線の形成および実装
９　クリーンルームと関連技術
１０　電子材料の種類と実用的に使用されるための条件
１１　アモルファスシリコン・デバイスの製作プロセス
１２　材料・デバイスプロセスにおける評価
１３　デバイスの微細化にともなう問題点と新技術
１４　量子効果デバイス作製のための新技術