マイクロメカニカルシステム

実用化技術総覧

フジ・テクノシステム 鍬谷書店
樋口俊郎　生田幸士　

• 価格: 38,500円（本体35,000円＋税）
• 発行年月: 1992年03月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784938555283

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。

第１編　基礎論（要素技術；材料）
第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
第３編　マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
第４編　マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）