- 半導体製造装置用語辞典 第２版
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- 価格
- 4,593円（本体4,175円＋税）
- 発行年月
- 1991年09月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784526029875
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[BOOKデータベースより]
旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数２２００語を掲載。より使いやすい実務辞典。
第１章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章 設計工程用語
第３章 マスク製作工程用語
第４章 ウェーハ製造工程用語
第５章 ウェーハ処理工程用語
第６章 組立工程用語
第７章 検査工程用語
第８章 設備・環境工程用語
資料