集積回路技術の基礎

森北出版
宮井幸男　

• 価格: 3,190円（本体2,900円＋税）
• 発行年月: 1991年08月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784627771505

内容情報

[BOOKデータベースより]

集積回路の設計から製造まで基本事項を明快に記述した。

第１部　シリコン素子（半導体；ＰＮ接合ダイオード；ショットキーダイオード；バイポーラトランジスタ；バイポーラトランジスタ回路；接合形電界効果トランジスタ；ＭＯＳトランジスタ；ＭＯＳトランジスタ回路；集積回路）
第２部　製造技術（クリーンシステム；シリコンウエーハ；リソグラフィ；洗浄およびウエットエッチング；エピタキシャル成長；不純物拡散；絶縁膜形成；導電膜形成；ドライエッチング；組み立て；検査、解析、信頼性）