ＵＬＳＩプロセスの基礎技術

Ｍａｒｕｚｅｎ　ａｄｖａｎｃｅｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　

丸善出版
古川静二郎　石原健　

• 価格: 5,280円（本体4,800円＋税）
• 発行年月: 1991年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621035832

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書はＵＬＳＩプロセスに関連するあらゆる技術を幅広く網羅し、それぞれの分野の第一人者が各章の執筆を担当している。２１世紀に向けてシリコン加工技術がどのように発展し、ＵＬＳＩはどこまで進むのか、今後解決されるべき問題は何か、そのすべてを展望する。

１章　ＵＬＳＩ基礎技術の展望
２章　光リソグラフィー
３章　Ｘ線リソグラフィー
４章　ドライエッチング
５章　薄膜形成技術
６章　集束イオンビーム技術
７章　ＳＯＩ技術
８章　ＵＬＳＩプロセシングにおける欠陥制御