薄膜作製ハンドブック

共立出版
応用物理学会　

• 価格: 11,000円（本体10,000円＋税）
• 発行年月: 1991年03月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784320084933

内容情報

[BOOKデータベースより]

現在用いられている薄膜作製法を学問的見地から集大成。薄膜作製の基礎となる確立された事項の解説と新しい技術の紹介との両方をバランスよく、かつ具体的に記載。学問的・技術的に高度な水準を保持し、初学者から第一線研究者にまで役立つ寿命の長いハンドブックトして編纂。

第１編　基礎（真空技術；蒸発現象；気相反応；薄膜成長；エピタキシャル成長；液相エピタキシャル成長法の基礎理論；膜厚測定；分析・評価技術）
第２編　薄膜作製法（ＰＶＤ；ＣＶＤ；その他の技術）