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半導体研究 33

化合物半導体の結晶成長と評価 その5

工業調査会
半導体研究振興会  西沢潤一

価格
20,292円(本体18,447円+税)
発行年月
1990年08月
判型
B5
ISBN
9784769310846

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内容情報
[BOOKデータベースより]

1. 光励起分子層エピタキシ
2. III‐V族化合物半導体混晶系のMOCVD結晶成長
3. マイグレーション・エンハンスト・エピタキシ
4. 気相反応中のフリーラジカルの検出
5. GaAsFET用イオン注入能動層の特性制御
6. GaAs/AlGaAs量子井戸のルミネッセンスによる評価
7. AlAs/GaAs超格子の構造評価
8. レーザラマン分光法による化合物半導体の評価
9. III‐V族化合物半導体混晶中の欠陥とその発光デバイスに与える影響

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