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[BOOKデータベースより]
１章 薄膜の作製
２章 薄膜の膜厚と構造、組成
３章 薄膜の機械的・熱的性質
４章 薄膜の電気的・磁気的性質
５章 薄膜の光学的性質
６章 半導体薄膜