- 超ＬＳＩレジストの分子設計
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- 価格
- 1,452円（本体1,320円＋税）
- 発行年月
- 1990年04月
- 判型
- Ｂ６
- ISBN
- 9784320085114
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[BOOKデータベースより]
序章 なぜ、レジストの研究をするのか？
[日販商品データベースより]第１章 超ＬＳＩレジストの要件
第２章 オルソジアゾナフトキノン系フォトレジストの分子設計
第３章 ネガ型レジストの分子設計
第４章 高感度化の分子設計
第５章 ドライ現象のためのレジストの分子設計
第６章 解像力向上技術
超LSIをつくるためのレジストの分子設計について、誰にでもわかりやすいよう、豊富な図と最近の実例を用いて平易に解説。