積層材料技術

コロナ社
電気学会　

• 価格: 7,700円（本体7,000円＋税）
• 発行年月: 1989年12月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784339005721

内容情報

[BOOKデータベースより]

積層構造の必要性とその問題点（電子デバイスからみた積層構造；光デバイスからみた積層構造；ＯＥＩＣからみた積層構造；新機能素子からみた積層構造）
材料選択および構造選択上の問題点（半導体‐半導体構造；半導体‐絶縁物構造；金属‐半導体構造；金属‐絶縁物構造）
積層構造の製作技術における問題点（製膜技術；Ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ技術；積獄加工技術）
積層材料および積層構造の評価技術における問題点（固体組成および不純物の３次元局所分析；構造的性質の微視的観察；積層構造の物性評価；評価技術としてのモデリングの応用）