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薄膜材料工学

海文堂出版
北田正弘 

価格
4,058円(本体3,689円+税)
発行年月
1989年11月
判型
A5
ISBN
9784303712600

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内容情報
[BOOKデータベースより]

第1章 薄膜の特徴
第2章 薄膜の形成法
第3章 薄膜の形成過程
第4章 薄膜の基礎物性
第5章 薄膜の構造と欠陥
第6章 薄膜の評価法
第7章 金属薄膜とその応用
第8章 半導体薄膜とその応用
第9章 セラミックス薄膜とその応用
第10章 高分子薄膜とその応用



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