表面と薄膜分析技術の基礎

Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ　ｏｆ　ｓｕｒｆａｃｅ　ａｎｄ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍ　ａｎａｌｙｓｉｓ．

海文堂出版
レオナルド・Ｃ．フェルドマン　ジェームズ・Ｗ．メイヤー　栗山一男　山本康博　

• 価格: 5,446円（本体4,951円＋税）
• 発行年月: 1989年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784303712006

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書では、イオン、電子、光子等の固体内の振舞いを示すとともに、その結果として生ずる現象を材料分析に応用する際の理論的根拠、分析を行うための装置構成、さらには実際の分析を行う際に遭遇するであろう問題点を、豊富な例題をまじえて解説している。

１章　序章―概念、単位、そしてボーア原子
２章　原子衝突と後方散乱法
３章　軽イオンのエネルギー損失と深さプロファイル
４章　スパッタによる深さプロファイル―２次イオン質量分析法
５章　チャネリング
６章　電子‐電子相互作用と分子分光法の深さ感度
７章　表面構造解析
８章　固体中の光子吸収とＥＸＡＦＳ
９章　Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）
１０章　放射遷移と電子マイクロプローブ
１１章　非放射遷移とオージェ電子分光法
１２章　核技術―放射化分析と即発放射線分析