化学技術者のための超ＬＳＩ技術入門

培風館
化学工学協会　

• 価格: 3,845円（本体3,495円＋税）
• 発行年月: 1989年04月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784563045142

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。

１　超ＬＳＩの開く世界
２　半導体マーケット
３　半導体技術の歩みと展望
４　超ＬＳＩのしくみ
５　超ＬＳＩ製造プロセス
６　周辺技術
７　今後の技術的諸課題
８　ケミカルエンジニアリングからのアプローチ