精密位置決め技術

その設計テクニック

工業調査会
井沢実　

• 価格: 4,956円（本体4,505円＋税）
• 発行年月: 1989年04月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769320852

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１編　総論（精密位置決めの意義と問題点）
第２編　精密位置決め系の構成要素（アクチュエータ；運動伝達要素；案内用要素；位置検出用要素）
第３編　精密位置決めのための制御系（制御方式と特長；制御系の実際）
第４編　精密位置決めの主な問題点と対策（振動問題と対策；剛性の問題と対策）
第５編　精密位置決めの設計例（ＳＴＭ〈走査型トンネル顕微鏡〉；非球面加工機；光ディスクマスタリング装置；半導体製造用装置；精密測定器〈真円度測定器〉）