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半導体研究 29

化合物半導体の結晶成長と評価 その3

工業調査会
半導体研究振興会  西沢潤一

価格
18,700円(本体17,000円+税)
発行年月
1988年08月
判型
B5
ISBN
9784769310693

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内容情報
[BOOKデータベースより]

1 GaAsIC用引上結晶の量産化技術の開発
2 磁場印化GaAs単結晶成長法
3 AlGaAs系の減圧有機金属気相成長
4 分子層エピタキシー
5 レーザトモグラフィによる化合物半導体結晶の評価
6 遠赤外光による化合物半導体の評価
7 金属・3―5化合物半導体接合の評価
8 高出力GaAsMMIC
9 タンネットダイオード
パネルディスカッション

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