- ＶＬＳＩ技術
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- 価格
- 4,950円（本体4,500円＋税）
- 発行年月
- 1988年06月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784785620356
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価格：2,200円（本体2,000円＋税）
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【1974年05月発売】
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[BOOKデータベースより]
１ 基本素子
２ 集積化プロセス
３ 単位プロセス技術
４ プロセス設計
５ プロセス評価
６ 界面現象と信頼性
７ 格子欠陥と不純物制御
８ 超微細リソグラフィ技術
９ 超高集積化技術
１０ クリーンルーム