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集積回路プロセス技術シリーズ
産業図書 檀良
1 プロセス・デバイス・シミュレーション入門2 プロセス・モデリング3 デバイス・シミュレーション4 粒子モデルによるデバイス・シミュレーション5 プロセス・デバイス・シミュレーション・システム6 量子力学的考察の必要性
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アレン・ガーショ ロバート・M.グレイ 古井貞熙
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ガレノス 坂井建雄 池田黎太郎
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【1998年02月発売】
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又吉直樹
【2015年03月発売】
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[BOOKデータベースより]
1 プロセス・デバイス・シミュレーション入門
2 プロセス・モデリング
3 デバイス・シミュレーション
4 粒子モデルによるデバイス・シミュレーション
5 プロセス・デバイス・シミュレーション・システム
6 量子力学的考察の必要性