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価格：2,640円（本体2,400円＋税）
【1999年07月発売】
価格：2,750円（本体2,500円＋税）
【1999年05月発売】
価格：22,000円（本体20,000円＋税）
【2009年01月発売】
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[BOOKデータベースより]
本書はＶＬＳＩ技術の総合理解のために、特に材料や個別要素技術に携わる方々に必要なデバイス特性、特性の不良原因、特性に向上などや材料、プロセスの関係についての知識を得られるようにしました。
１章 ＬＳＩ技術の概論
２章 デバイスの基本特性の不良原因
３章 結晶
４章 酸化
５章 不純物の拡散とイオン打込み
６章 堆積薄膜
７章 デバイス、プロセスの最近の話題