世界の半導体製造の未来図：ＰＦＡＳフリー戦略と次世代代替技術の最前線

シーエムシー・リサーチ 鍬谷書店
シーエムシー・リサーチ　

• 価格: 330,000円（本体300,000円＋税）
• 発行年月: 2025年12月
• 判型: Ａ４
• ISBN: 9784910581743

内容情報

[日販商品データベースより]

・PFASフリー時代の設計図！ ArF液浸からCMP、洗浄まで、工程別の代替物質とプロセス最適化を徹底解説！
・規制リスクを機会に変える！ 欧州、米国、アジアのPFAS規制動向と、半導体サプライチェーン再編の道筋を提示！
・装置性能の維持が鍵！ 静電チャック、シール材、潤滑油… 装置部品におけるPFASフリー材料の実用性を評価！
・化学者の武器！ POE、APG など、次世代洗浄・剥離用界面活性剤の性能と導入メリットを深掘り解説！
・「PFASフリー戦略における失敗課題の類型と事例」から学ぶ、致命的な歩留まり低下を防ぐ教訓を解説！
・配管、温調、クリーンルーム・ユーティリティまで、PFASフリー化の全体像と具体的な実装計画を網羅！
・短鎖／部分フッ素誘導体のリスクと、シリコーン系（PDMS）などの完全代替候補の特性を比較分析！
・技術者のための実践戦略！ PFAS依存度低減に向けた「プロセス条件最適化」の具体的手法と事例を解説！