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[日販商品データベースより]
元素組成と化学状態の定量分析を可能にするX線光電子分光法(XPS)は,半導体デバイスの微細化,触媒,電池材料,有機薄膜など,先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として,その重要性を増している.
本書は,実用的なXPS入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である.理論から測定・解析,そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する.1〜5章で,光電子発生の原理,装置構成,試料調製,測定・解析の要点といった,測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説.新設の6章「応用・発展」では,雰囲気測定,イメージング,時間分解測定など,最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した.
XPSを初めて学ぶ学生から,実務に携わる研究者まで,すべての方の指針となる必携の一冊.