Ｘ線光電子分光法 第２版

表面分析技術選書　

丸善出版
日本表面真空学会　

• 価格: 4,180円（本体3,800円＋税）
• 発行年月: 2025年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621312148

内容情報

[BOOKデータベースより]

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）は、半導体デバイスの微細化、触媒、電池材料、有機薄膜など、先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として、その重要性を増している。本書は、実用的なＸＰＳ入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である。理論から測定・解析、そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する。１〜５章で、光電子発生の原理、装置構成、試料調製、測定・解析の要点といった、測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説。新設の６章「応用・発展」では、雰囲気測定、イメージング、時間分解測定など、最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した。ＸＰＳを初めて学ぶ学生から、実務に携わる研究者まで、すべての方の指針となる必携の一冊。

１　Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）とは何か
２　光電子発生の原理
３　ＸＰＳ装置の原理と基礎
４　測定法
５　データ解析
６　応用・発展

[日販商品データベースより]

元素組成と化学状態の定量分析を可能にするX線光電子分光法（XPS）は，半導体デバイスの微細化，触媒，電池材料，有機薄膜など，先端材料研究の進展に不可欠な分析技術として，その重要性を増している．
本書は，実用的なXPS入門書として好評を博した初版を全面的に改訂した最新版である．理論から測定・解析，そして先端応用事例までを一貫して徹底解説する．1〜5章で，光電子発生の原理，装置構成，試料調製，測定・解析の要点といった，測定者が確実に抑えるべき基礎事項を解説．新設の6章「応用・発展」では，雰囲気測定，イメージング，時間分解測定など，最新の多様な応用事例とその測定例を紹介した．
XPSを初めて学ぶ学生から，実務に携わる研究者まで，すべての方の指針となる必携の一冊．