ナノ加工技術ハンドブック

大阪公立大学出版会 地方・小出版流通センター
ナノ加工技術ハンドブック編集委員会　

• 価格: 4,400円（本体4,000円＋税）
• 発行年月: 2025年11月
• 判型: Ｂ４
• ISBN: 9784909933973

内容情報

[BOOKデータベースより]

１章　微細加工技術（半導体リソグラフィ；原子層無損傷プラズマエッチング技術；レーザ加工；レジスト材料と感光機構）
２章　ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）（電子・イオンビームと固体との相互作用；電子ビーム照射のチャージアップ現象；ビーム励起表面反応；電子ビーム描画装置；集束イオンビーム装置）
３章　ナノ構造形成技術（電子ビーム描画技術；集束イオンビーム技術；ナノインプリント技術；走査プローブ顕微鏡によるナノ加工；自己組織化；ガスクラスターイオンビーム（ＧＣＩＢ）技術；近接場リソグラフィ）
４章　ナノ構造評価・計測（走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）；透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）；測長ＳＥＭ（ＣＤ−ＳＥＭ）；ヘリウムイオン顕微鏡；走査プローブ顕微鏡（ＳＰＭ））
５章　ナノ加工のデバイス応用（単電子トランジスタ；グラフェンデバイス；フォトニック結晶デバイス；プラズモニックスデバイス；ナノメカニカルデバイス；バイオナノデバイス；バイオミメティクスデバイス）

[日販商品データベースより]

様々な物質をナノサイズに加工する「ナノ加工技術」は，先端半導体，光デバイス，バイオデバイス，量子デバイス等の動作原理に関わるナノテクノロジーを具現化し、産業化するために必要不可欠な技術です．
その方法は，光，電子線，イオン線，X 線など広義の放射線を利用するものや，化学反応を利用することにより，分子，原子レベルで，切る，曲げる，つなぐ，磨くなどの加工を施すものです．
本書では．我が国の先端ナノ加工の最先端でご活躍の先生，第一線で活躍されているエンジニアの方々から玉稿を頂戴することで、ナノ加工技術の基本的な原理の理解と応用について理解を深めます。また、技術の伝承も目的に編纂したものです。
本書が多様なナノデバイスに適したナノ加工技術の選択と高精度化を進める指針となり，高精度・高性能のナノデバイス作製の一助となることを期待するとともに、次世代の研究者の座右の書となることを願っています．