- 半導体製造におけるエッチング技術
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- 価格
- 71,500円(本体65,000円+税)
- 発行年月
- 2025年08月
- 判型
- B5
- ISBN
- 9784781318721
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[日販商品データベースより]
半導体製造で用いられるエッチングに焦点を当て、プラズマエッチング、ウェットエッチング、プラズマダメージ、シミュレーション、原子層エッチング、金属アシストエッチング等、基礎から最新技術までを纏めた一冊。