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価格：2,420円（本体2,200円＋税）
【2023年07月発売】
価格：2,860円（本体2,600円＋税）
【2009年03月発売】
価格：3,080円（本体2,800円＋税）
【2009年11月発売】
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[日販商品データベースより]
IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。