フォトレジストの最先端技術

エレクトロニクスシリーズ　

シーエムシー出版
遠藤政孝　

• 価格: 73,700円（本体67,000円＋税）
• 発行年月: 2022年09月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784781316796

内容情報

[日販商品データベースより]

IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。