クリーンルームにおける静電気対策

日刊工業新聞社
鈴木政典　

• 価格: 2,750円（本体2,500円＋税）
• 発行年月: 2021年04月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526081286

内容情報

[BOOKデータベースより]

事故や歩留まり低下をこれで防ぐ！

第１章　静電気の基礎
第２章　半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
第３章　半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策の方法
第４章　クリーンルームにおけるイオナイザーによる静電気対策の問題点
第５章　コロナ放電式イオナイザーの電極からの発塵の問題
第６章　開発されたクリーンルーム用イオナイザー
第７章　静電気対策の事例

[日販商品データベースより]

クリーンルームを使った製造に携わる人が必要な基礎から静電気対策全般を習得、自ら実施できるように事例などを入れながら、わかりやすく解説する。