- 酸化物薄膜・接合・超格子
-
界面物性と電子デバイス応用
物質・材料テキストシリーズ
- 価格
- 5,060円(本体4,600円+税)
- 発行年月
- 2017年04月
- 判型
- A5
- ISBN
- 9784753623099
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[BOOKデータベースより]
第1章 薄膜作製・評価・微細加工技術
第2章 酸化物薄膜成長
第3章 酸化物ダイオード
第4章 酸化物トンネル接合
第5章 酸化物超格子と2次元電子系
第6章 酸化物電界効果トランジスタ
第7章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用