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酸化物薄膜・接合・超格子

界面物性と電子デバイス応用
物質・材料テキストシリーズ 

内田老鶴圃
澤彰仁 

価格
5,060円(本体4,600円+税)
発行年月
2017年04月
判型
A5
ISBN
9784753623099

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内容情報
[BOOKデータベースより]

第1章 薄膜作製・評価・微細加工技術
第2章 酸化物薄膜成長
第3章 酸化物ダイオード
第4章 酸化物トンネル接合
第5章 酸化物超格子と2次元電子系
第6章 酸化物電界効果トランジスタ
第7章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用

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