小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法

μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料，物性，形状，機能の評価法

コロナ社
肥後矢吉　谷川紘　鈴木健一郎　磯野吉正　荻博次　土屋智由　石山千恵美　

• 価格: 3,300円（本体3,000円＋税）
• 発行年月: 2015年07月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784339046434

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　シミュレーション
２　薄膜の弾性定数の精密計測法
３　微小材料や薄膜の材料強度評価法
４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
６　微細なものの接着・接合強度評価

[日販商品データベースより]

肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな動く機械をつくるために必要な設計、材料、機能、寸法、組立ての評価方法を国際標準に沿って解説。「シミュレーション」「薄膜の弾性定数の精密計測法」など６章で構成。