半導体・ＭＥＭＳのための超臨界流体

コロナ社
近藤英一　上野和良　内田寛　曽根正人　生津英夫　服部毅　堀照夫　森口誠　

• 価格: 3,740円（本体3,400円＋税）
• 発行年月: 2012年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784339008371

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス
２　半導体とＭＥＭＳの製造プロセス
３　超臨界乾燥
４　超臨界流体を用いた半導体・ＭＥＭＳ洗浄技術
５　多孔質薄膜と細孔エンジニアリング
６　めっきへの応用
７　化学的薄膜堆積
８　超臨界流体を用いたエッチング加工

[日販商品データベースより]

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について、特長と、乾燥、薄膜堆積、洗浄など、半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説。超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。