薄膜工学 第２版

丸善出版
吉田貞史　近藤高志　金原粲　

• 価格: 4,180円（本体3,800円＋税）
• 発行年月: 2011年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621084144

内容情報

[BOOKデータベースより]

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、最先端エレクトロニクスに不可欠な基盤技術でもある。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行い、微細加工技術を用いた２次元、３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術なども取り上げて解説する。本書は、薄膜分野の研究や技術開発に携わる人々の入門書として、また、薄膜の基礎技術の解説書として、格好の書である。

１　薄膜工学の基礎（薄膜の基礎；薄膜のプロセスと応用）
２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング；化学気相成長法）
３　薄膜の評価（形状・構造評価；組成評価・分析；力学的・機械的性質の評価）
４　薄膜の機能と応用（半導体薄膜；光学薄膜と透明導電膜；誘電体薄膜；磁性薄膜；薄膜の化学的性質と機能；有機薄膜）

[日販商品データベースより]

基礎的な技術でありながら、関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う薄膜技術。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行った。