分光エリプソメトリー 第２版

丸善出版
藤原裕之　

• 価格: 6,380円（本体5,800円＋税）
• 発行年月: 2011年05月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621083222

内容情報

[BOOKデータベースより]

「第２版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。

第１章　分光エリプソメトリーとは
第２章　光学の基礎
第３章　偏光
第４章　分光エリプソメトリーの原理
第５章　データ解析
第６章　光学異方性の評価
第７章　材料別解析例
第８章　分光エリプソメトリーによる実時間観測

[日販商品データベースより]

分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、及び具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。広範な分野で利用できる入門書。「光学異方性の測定評価」とその解析例を加えた新版。