マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

新材料・新素材シリーズ　

シーエムシー出版
式田光宏　佐藤一雄　田中浩　

• 価格: 71,500円（本体65,000円＋税）
• 発行年月: 2009年10月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784781301679

内容情報

[BOOKデータベースより]

ウエットエッチング編（ウエットエッチングの基礎；シリコン結晶異方性エッチングの基礎；エッチピットおよびマイクロピラミッド発生メカニズム　ほか）
ドライエッチング編（ドライエッチングの基礎と各種パラメータの最適化；プラズマエッチングにおける表面反応機構；シリコン深堀エッチング　ほか）
エッチング技術の高機能化編（ウエハ回転方式によるシリコンエッチングの高精度均一化；電圧印加による等方性および異方性の制御；多段異方性エッチングによるエッチング形状の複雑化　ほか）