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価格：946円（本体860円＋税）
【2020年04月発売】
価格：2,860円（本体2,600円＋税）
【1979年01月発売】
価格：2,970円（本体2,700円＋税）
【2025年11月発売】
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[BOOKデータベースより]
加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。付録には、現場実務に必要なデータや関連する単位、ＣＭＰ装置の年表や、関連学協会機関略称一覧などの便利な情報を掲載。巻末の索引には、英和用語索引を掲載し、使いやすく調べやすい構成。
[日販商品データベースより]加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。