- エレクトロニクス薄膜技術
-
- 価格
- 3,960円（本体3,600円＋税）
- 発行年月
- 2008年05月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784882319931
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[BOOKデータベースより]
第１章 薄膜作製技術の歴史と意義
第２章 計算化学による結晶成長制御手法
第３章 常圧プラズマＣＶＤ技術とその応用
第４章 ラダー電極を用いたＶＨＦプラズマ応用薄膜形成技術
第５章 触媒化学気相堆積法とその応用
第６章 コンビナトリアルテクノロジー―集積化薄膜技術による材料開発の革新
第７章 パルスパワー技術と応用
第８章 半導体薄膜の作製
第９章 ナノ構造磁性薄膜の作製とスピントロニクスへの応用
第１０章 強誘電体薄膜の作製とメモリ素子への応用