ＲＦ ＭＥＭＳ技術の最前線

ワイヤレス時代のキーテクノロジー
新材料シリーズ　

シーエムシー出版
大和田邦樹　

• 価格: 71,500円（本体65,000円＋税）
• 発行年月: 2006年04月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784882315605

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　総論（ＭＥＭＳ技術の概要；ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の概要）
２　プロセス技術（プロセス基盤技術；ＲＦ　ＭＥＭＳのプロセス技術　ほか）
３　設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術；ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）
４　デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ；線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ　ほか）
５　応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール；高効率デュアルバンド増幅器　ほか）