よくわかる半導体ＬＳＩのできるまで 改訂第２版

製造工程の流れを追って解説

日刊工業新聞社
「半導体ＬＳＩのできるまで」編集委員会　

• 価格: 1,980円（本体1,800円＋税）
• 発行年月: 2004年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526053757

内容情報

[BOOKデータベースより]

ＬＳＩの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体ＬＳＩに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体ＬＳＩはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。

第１章　半導体ＬＳＩとは
第２章　半導体製造技術及び装置技術の動向
第３章　設計工程
第４章　ウェーハ製造工程
第５章　フォトマスク製作工程
第６章　ウェーハ処理工程（前工程）
第７章　組立工程
第８章　検査工程