分光エリプソメトリー

丸善出版
藤原裕之　

• 価格: 4,730円（本体4,300円＋税）
• 発行年月: 2003年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621072530

内容情報

[BOOKデータベースより]

分光エリプソメトリーをもちいた測定技術は飛躍的な発達を遂げ、同時にコンピューターの発達により測定の自動化が進み、その結果、分光エリプソメトリーは、簡便な高精度測定法としての地位を確立し、現在では半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。本書は、これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を大学および企業において分光エリプソメトリーを新しく利用し始めた研究者にわかりやすく解説した入門書として最適です。

第１章　分光エリプソメトリーとは
第２章　光学の基礎
第３章　偏光
第４章　分光エリプソメトリーの原理
第５章　データ解析
第６章　材料別解析例
第７章　分光エリプソメトリーによる実時間観測

[日販商品データベースより]

分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で利用できる入門書。