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21世紀版
エヌ・ティー・エス 鍬谷書店 小川正毅 多賀康訓 権田俊一
点
第1編 薄膜材料の特性と特徴(薄膜の特徴と特性;薄膜材料の電気特性 ほか)第2編 薄膜の作製と加工(基板と表面処理;PVD法 ほか)第3編 薄膜・表面・界面の分析と評価(薄膜・表面・界面の分析・評価;薄膜分析・評価対象各論)第4編 薄膜技術の応用と展望(半導体デバイス;光部品 ほか)
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1位
又吉直樹
価格:1,320円(本体1,200円+税)
【2015年03月発売】
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[BOOKデータベースより]
第1編 薄膜材料の特性と特徴(薄膜の特徴と特性;薄膜材料の電気特性 ほか)
第2編 薄膜の作製と加工(基板と表面処理;PVD法 ほか)
第3編 薄膜・表面・界面の分析と評価(薄膜・表面・界面の分析・評価;薄膜分析・評価対象各論)
第4編 薄膜技術の応用と展望(半導体デバイス;光部品 ほか)