薄膜作製応用ハンドブック

２１世紀版

エヌ・ティー・エス 鍬谷書店
小川正毅　多賀康訓　権田俊一　

• 価格: 71,500円（本体65,000円＋税）
• 発行年月: 2003年04月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784860430191

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性　ほか）
第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
第３編　薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）
第４編　薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品　ほか）