- よくわかるシステムＬＳＩのできるまで
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- 価格
- 1,980円（本体1,800円＋税）
- 発行年月
- 2002年12月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784526050480
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[BOOKデータベースより]
本書は、システムＬＳＩの作り方を設計から製造、組立、検査まで工程順にやさしく解説したものである。
第１章 システムＬＳＩとは
第２章 設計工程
第３章 システムＬＳＩ対応ウェーハ製造工程
第４章 フォトマスク製作工程
第５章 ウェーハ処理工程（プロセス前工程）
第６章 組立工程（実装パッケージング）
第７章 検査工程