真空ハンドブック 新版

オーム社
アルバック　

• 価格: 10,450円（本体9,500円＋税）
• 発行年月: 2002年07月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784274087271

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。

第１章　真空の基礎
第２章　真空用部品
第３章　真空用構成材料
第４章　熱
第５章　低温
第６章　プラズマ・イオンビーム
第７章　表面分析
第８章　薄膜・表面加工
第９章　応用

[日販商品データベースより]

平成４年の初版が好評だった「真空ハンドブック」。このたび今日的観点で初版の内容・収録データの見直し、化学・薬品工業から半導体製造まで広範な技術分野に基礎を与える真空技術の最新技術と関連データを集大成。