エピタキシャル成長のフロンティア

シリーズ：結晶成長のダイナミクス　４巻

共立出版
中嶋一雄　

• 価格: 4,620円（本体4,200円＋税）
• 発行年月: 2002年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784320034136

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　格子不整合系のエピタキシャル成長の欠陥制御
２　ナノ構造のエピタキシャル成長
３　磁性半導体のエピタキシャル成長
４　超ＬＳＩ周辺におけるエピタキシャル
５　プラズマ励起エピタキシー
６　巨大分子のエピタキシャル成長

[日販商品データベースより]

本書は最新のエピタキシャル成長に関わるトピックを結晶成長という視点で判りやすく解説する。対象材料はIII-V族、II-VI族化合物半導体、Si半導体、シリサイド、誘電体から有機分子まで多岐にわたる。また、層状成長から量子ドットや量子細線のようなナノ構造までを含め、エピタキシャル成長に関する主なトピックを網羅している。特に青色発光素子用材料として関心の強いGaN、金属と半導体を組み合わせた新素材である磁性半導体、エピタキシャル成長の視点であまり取り上げられたことのない超LSI材料のエピタキシー、有機分子薄膜の結晶として今後の発展が期待される巨大分子のエピタキシーに重点をおいたことが本書の大きな特徴である。本書によりエピタキシャル成長に関する最新トピックをことごとく知ることができるとともに、これらを通じてエピタキシャル成長の基礎知識を広く得ることができる。本シリーズ3巻「エピタキシャル成長のメカニズム」と合わせて読むことにより、その効果は倍増する。