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価格:3,080円(本体2,800円+税)
【2012年03月発売】
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【2012年03月発売】
[BOOKデータベースより]
ポスト100nm時代を担うプロセス・装置・材料技術のリーディングエッジを完全カバー。
総論―ポスト100nm時代に向けてのブレークスルー
リソグラフィ技術
フロントエンドプロセス
バックエンドプロセス
洗浄技術
前工程検査・測定技術
アセンブリ・パッケージ技術
テスティング技術