薄膜材料入門

新教科書シリーズ　

裳華房
伊藤昭夫　

• 価格: 4,730円（本体4,300円＋税）
• 発行年月: 1998年10月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784785361051

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書はいわゆる“先端技術”として今後の薄膜を考える立場で、薄膜材料と材料製造技術としての製膜技術を取り上げ、これらの現状および将来の展望についてわかりやすく説明し、この分野にあまり関わりがなかった人達にも興味を持って戴けるように心がけた。

第１章　材料としての薄膜
第２章　材料開発ならびに材料作製技術としての薄膜技術
第３章　表面改質膜材料
第４章　機能膜材料
第５章　金属薄膜材料
第６章　無機・セラミック薄膜材料
第７章　有機・ポリマー薄膜材料
第８章　半導体薄膜材料
第９章　薄膜材料のキャラクタリゼーション
第１０章　薄膜材料の物性測定