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[BOOKデータベースより]
半導体デバイスの基礎からプロセス技術までを平易に解説。各章末に演習問題を掲載。電気系はもちろん、半導体デバイスについて学ぶ非電気系の学生、技術者等にも格好の入門書。
1章 半導体の基礎物理
2章 p‐n接合とショットキー障壁
3章 バイポーラトランジスタとサイリスタ
4章 MOS(MIS)構造の物理
5章 MOSトランジスタ
6章 最近の超LSIデバイス