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価格：408円（本体371円＋税）
【2004年11月発売】
価格：7,700円（本体7,000円＋税）
【2007年01月発売】
価格：3,740円（本体3,400円＋税）
【2014年09月発売】
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[BOOKデータベースより]
１ シリコンＬＳＩ
２ シリコンＬＳＩの基礎
３ シリコンＬＳＩと化学
４ ウェハープロセスと化学
５ 超ＬＳＩの今後と応用技術