ここまできた半導体清浄化技術

スーパークリーンテクノロジー実現
Ｋ　ｂｏｏｋｓ　ｓｅｒｉｅｓ　９２

工業調査会
岩松誠一　

• 価格: 1,923円（本体1,748円＋税）
• 発行年月: 1993年01月
• 判型: Ｂ６
• ISBN: 9784769311027

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は長年半導体デバイスの表面現象に取り組んできた著者が、そのノウハウを明らかにするとともに、豊富な事例を盛り込みながら解説したもの。半導体デバイス・プロセスにこれから携わろうとしている方々に必須の書。

第１章　半導体清浄化技術とは
第２章　半導体清浄化技術要論
第３章　パーティクル制御
第４章　ドライ洗浄
第５章　半導体清浄化技術の今後の動き