ナノテクノロジー・表面分析の科学

原子・分子スケールで表面を見る
ブルーバックス　Ｂ―９４８

講談社
小宮宗治　

• 価格: 876円（本体796円＋税）
• 発行年月: 1992年12月
• 判型: 新書
• ISBN: 9784061329485

内容情報

[BOOKデータベースより]

今日の半導体産業の超ＬＳＩ素子では、１ミリメートルの１万分の１単位の大きさのチリが、２０センチメートル程度のシリコン基盤の上に１個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を１つ１つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。

第１章　序にかえて―ナノテクノロジーの世界へ
第２章　微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法
第３章　商品開発の名アシスタント・ＥＳＣＡ
第４章　極微量の不純物を分析するＳＩＭＳ
第５章　表面分析装置のもっとも効果的な使い方
第６章　最新ナノテクノロジー表面分析器